Полиуретан для полировальной подушки CMP

CMP, полное название химико-механической полировки, представляет собой очень популярную технологию полировки, сочетающую в себе абразивное механическое шлифование и химическую коррозию полировочной жидкости.
Отправить запрос
Описание

Производство чипов известно как жемчужина современной промышленности, а также является высокотехнологичной отраслью, на которой Китай уделяет особое внимание.

 

Хотя области применения полиуретановых материалов в основном сосредоточены в таких отраслях, как изоляция зданий, мебель и бытовая техника, автомобили, обувь и одежда, полиуретановые материалы также присутствуют в производстве чипов, например, полировальных подушечек CMP.

 

CMP разработан на основе химической и механической полировки, но в то же время преодолевает недостатки традиционной механической и химической полировки.

 

Оборудование CMP включает в себя три основных модуля: полировки, очистки и передачи. Во время операции полировальная головка прижимает поверхность полируемой пластины к грубой полировальной подушечке и достигает глобальной планаризации за счет коррозии полирующей жидкости, трения частиц, трения полировальной подушечки и т. д.

 

Оборудование и расходные материалы, используемые в технологии CMP, включают в себя: полировальный станок, полировальную суспензию, полировальную подушку, оборудование для очистки после CMP, оборудование для обнаружения конечной точки полировки и контроля процесса, оборудование для обработки и тестирования отходов и т. д.

 

Полировальный станок, полировальная суспензия и полировальная тарелка — три ключевых элемента процесса CMP. Их характеристики и взаимное соответствие определяют уровень гладкости поверхности, которого может достичь CMP. В процессе полировки двумя наиболее важными материалами являются полировальная жидкость и полировальная подушечка.

 

Полировальные диски CMP должны обладать хорошей коррозионной стойкостью, гидрофильностью и механическими свойствами. Наиболее распространены из жесткого ячеистого пенополиуретана с рисунком узких канавок с большим удлинением. Полиуретан обладает хорошей эластичностью и износостойкостью и может сохранять относительно стабильные характеристики под действием постоянных абразивов. В то же время в процессе полировки микропоры (механические свойства и пористые водопоглощающие свойства) на поверхности полировального диска из жесткого вспененного полиуретана могут смягчать и придавать шероховатость поверхности полировального диска, а также удерживать абразивные частицы в полирующая жидкость.

 

Эти микропоры также могут собирать удаляемые при обработке материалы, транспортировать полировочную жидкость и обеспечивать химическую коррозию, что способствует улучшению однородности и эффективности полировки.

 

горячая этикетка : полиуретан для полировальной подушечки CMP, Китай полиуретан для полировальной подушечки CMP производители, поставщики, завод, Полиуретановая безопасность, Полиуретановые особенности, полиуретановые акционеры, Полиуретановая доставка, Полиуретановые покупки, полиуретановые инвесторы